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一种VDMOS阈值电压和导通电阻的优化方法
一种VDMOS阈值电压和导通电阻的优化方法
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wsgray
【摘 要】
:
功率场效应晶体管应用广泛,其阈值电压和导通电阻是其重要的参数。针对不同栅氧厚度的产品设计不同的多晶硅厚度实验来寻找最佳工艺条件,最终找到了阈值电压产品和导通电阻的
【作 者】
:
陈惠明
【机 构】
:
上海先进半导体制造股份有限公司
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2018年6期
【关键词】
:
集成电路制造
功率场效应晶体管
阈值电压
导通电阻
【基金项目】
:
上海市科学技术委员会科技创新行动计划高新技术基金(17DZ1100300)
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功率场效应晶体管应用广泛,其阈值电压和导通电阻是其重要的参数。针对不同栅氧厚度的产品设计不同的多晶硅厚度实验来寻找最佳工艺条件,最终找到了阈值电压产品和导通电阻的最佳多晶硅厚度条件。
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