电化学C—V测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度的分布

来源 :华南理工大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：qq452723692

【摘要】

：

在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AlGaInP LED 外延片中载流子浓度纵向分布的电解液--0.5 mol HCl 溶液.综合利用平带电位值(F.B.P)、耗

【作者】

：

文尚胜王朝阳

【机构】

：

华南理工大学光通信材料研究所,华南理工大学应用物理系

【出处】

：

华南理工大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2003年2期

【关键词】

：

载流子浓度 ALGAINP LED外延片电解液电化学电容-电压测量法平带电位值耗散因子发光二极管 AlGalnP LED epilayers elec

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在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AlGaInP LED 外延片中载流子浓度纵向分布的电解液--0.5 mol HCl 溶液.综合利用平带电位值(F.B.P)、耗散因子和测量电流等3个测量判据,合理选取测量电压、腐蚀电流等测量参数, 获得了速度快、重复性好和数据准确可靠的测试效果.

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