高分辨率多晶多反射X射线衍射仪在半导体材料分析中的应用

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cashwang
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
用高分辨率多晶多反射X射线衍射仪进行衍射空间的二维扫描是目前非损伤性表生半导体材料质量的手段之一。不同质量的材料在二维衍射空间中的衍射图形状不同。本文以GaAS/AlGaAs为例,展示了如何利用X射线的二维衍射空间图的形状来定性地分析半导体单晶样品的宏观弯曲,微观倾斜,组分梯度,应变,弛豫以及平行于界面的连续性等问题。
其他文献
问题教学法作为一种传统而新颖的教学方法,历来为广大教师所普遍运用,这一教学方法看似简单而易用,但是,在实际高校思想政治理论课教学中又容易出现诸多的问题,特别是教师在这一方
分析建筑智能化设计中各个阶段以及组织格局的特点,提出设计各阶段的监理要点.
随着社会经济的快速发展和科学技术的不断创新,移动通信系统经历了从第一代(1G)到第四代(4G)的探索和更新,已经逐步在现代社会的生活、金融、交通等领域起着至关重要的作用。在如今的信息化时代,4G已经被广泛商用,而面对未来各种新兴业务的巨大流量需求和速率标准,加上未来海量的用户和设备接入,使得现使用的频谱资源更加应接不暇,目前的4G移动通信系统毫无疑问满足不了发展的需求,因此,第五代移动通信系统(5
利用南昌市地面常规观测资料和南昌市某三甲肿瘤专科医院肺癌病例资料,分析1959-2014年南昌市霾日数的年变化及其与相关气象因子之间的变化特征以及1997-2013年南昌市不同类
研究目的是探索医学生的自我效能与英语成绩之间的关系。此次研究实施于2013年12月,研究对象为随机选取的中国医科大学2013级七年制本硕连读6个行政班的165名同学。通过使用通
不断扩大的城市建成区以及世界范围内的气候变化深刻地改变了城市中的自然水文过程和城市雨水的性质。城市雨水从一种宝贵资源变成了诸多城市问题的根源。此次研究的主要目标
随着全球化进程的推进,人类之间联系日益加深,历史教育应该顺应时代要求,帮助受教育者形成全球观。世界历史教育是培养全球观的有效途径,世界历史的经验能够有效帮助受教育者
江苏省体育高考开展至今已有四十个年头。在此过程中历经多次改革,其中2010年的评分标准、细则应是较大的改革之一,将总分改为150分,其中专项50分,四项素质100分,突显专项的