【摘 要】
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根据1 /4波片法测量应力的特点,采用光电编码器控制检偏器的旋转。高分辨率且无自动增益功能的CCD,由计算机控制并采集光学玻璃干涉条纹图,采样点根据需要可多达512×512。介
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院
【基金项目】
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国防科工委国防军工计量“十五”计划重点项目《移相式数字球面(波差)测量技术研究》(60803134)
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根据1 /4波片法测量应力的特点,采用光电编码器控制检偏器的旋转。高分辨率且无自动增益功能的CCD,由计算机控制并采集光学玻璃干涉条纹图,采样点根据需要可多达512×512。介绍应力图分析软件的设计思路,编制软件对多幅干涉条纹图进行处理与计算,得到被测样品所有点的应力值,并绘制样品应力三维分布图。采用CYY-1应力仪进行实验,实验表明,应力双折射光程差测量精度达0. 2nm/cm,重复性为0. 1nm/cm,并实现全测试过程的自动化和智能化。
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