(Pb,La)TiO_3铁电薄膜的铁电畴的研究

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【摘要】

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压电力显微镜(PFM)和非线性介电扫描显微镜(SNDM)是近年来发展起来的一项专门测量压电系数的技术.本实验中,分别通过LPFM,VPFM,SNDM观察了(Pb,La)Ti O3薄膜的面内畴、面间畴

【作者】

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吴家刚朱基亮张青磊谭浚哲蒲朝辉黄惠东朱建国肖定

【机构】

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四川大学材料科学系电子科技大学微电子与固体电子学院四川大学材料科学系成都

【出处】

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四川大学学报：自然科学版

【发表日期】

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2005年S1期

【关键词】

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PLT薄膜磁控溅射 SNDM PFM PLT thin film magnetron sputtering SNDM PFM

【基金项目】

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国家自然科学基金重点项目(50132020),, 国家安全973计划项目(Z0601)

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压电力显微镜(PFM)和非线性介电扫描显微镜(SNDM)是近年来发展起来的一项专门测量压电系数的技术.本实验中,分别通过LPFM,VPFM,SNDM观察了(Pb,La)Ti O3薄膜的面内畴、面间畴和非线性介电常数的分布.分析结果表明,薄膜内部存在面内极化电畴、向上、向下的电畴以及介电常数分布具有非线性特性.PFM可以描绘薄膜电畴的三维立体图形,SNDM和PFM都可以较好地表征铁电薄膜的表面极化状态.

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