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采用微波PCVD厅法制备出直径50mm膜厚300μm的大尺寸透明自支撑金刚石膜。在甲烷体积分数2％的条件下制备的透明自支撑金刚石膜经过两面抛光后在500cm^-1～4000cm^-1红外波段范围内红外透过率达到70％，但是其生长速率只有1μm／h～2μm／h.在体积分数4％甲烷浓度下制备的自支撑透明金刚石膜，其生长速率达到7μm／h～8μm／h，经过两面抛光之后膜厚为260μm的金刚石膜的在500cm^-1～4000cm^-1红外波段范同内红外透过率达到60％左右，而且膜中心和边缘区的红外透过率基本相同。