基于LVDT的台阶信号拾取方法研究

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大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精神,文中采用零点残余电压补偿,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域,以及正确设计传感器的安装角度等措施,有效地减小了零点残余电压的影响,并消除测量机构本身固有的二次项误差,提高了仪器的测量精度,实验表明,该仪器垂直方向测量分辨率可达0.5um,重复测量精度为±0.015um。
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