【摘 要】
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在使用双频激光干涉仪检测数控机床精度的工作中影响检测精度的因素很多,其中包括温度误差、双频激光干涉仪的极限误差、安装误差等。本文从激光干涉仪的测量原理及方法、数
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在使用双频激光干涉仪检测数控机床精度的工作中影响检测精度的因素很多,其中包括温度误差、双频激光干涉仪的极限误差、安装误差等。本文从激光干涉仪的测量原理及方法、数控机床精度分析、补偿方法等几个方面进行了分析和探讨。
In the use of dual-frequency laser interferometer CNC machine tools to check the accuracy of the work affecting the accuracy of many factors, including temperature error, dual-frequency laser interferometer limit error, installation error and so on. In this paper, the measurement principle and method of laser interferometer, precision analysis of CNC machine tools, compensation methods and several other aspects were analyzed and discussed.
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