温梯法生长φ110mm×80mm蓝宝石晶体位错的化学腐蚀形貌分析

来源 :硅酸盐学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Wang_Sheng
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利用导向籽晶温度梯度法(TGT)生长了φ110mm×80mm的蓝宝石单晶,应用化学腐蚀、光学方法分析了该晶体不同部位、不同切片的位错腐蚀形貌、位错密度及其分布情况、发现在晶体放肩处的(1120)面位错密度约为10^4cm^-2量级,等径生长过程中造晶体中心处(0001)面位错密度为(3 ̄4)×10^3cm^-2,靠近坩埚壁处(0001)面晶体位错密度为(5 ̄6)×10^4cm^-2,用同样方法分析
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