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AlGaN/GaN HEMT器件制备工艺流程介绍
AlGaN/GaN HEMT器件制备工艺流程介绍
来源 :经济技术协作信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gameryufei
【摘 要】
:
AlGaN/GaN HEMT器件制造主要分为AlGaN/GaN异质结材料的生长和HEMT器件制备两个主要部分,材料生长的好坏和器件制作工艺都将对器件的性能产生深远影响,本文主要对AlGaN/GaN材
【作 者】
:
李泽政
高靖雯
江浩
陈冲
【机 构】
:
吉林建筑大学
【出 处】
:
经济技术协作信息
【发表日期】
:
2020年10期
【关键词】
:
ALGAN/GAN
HEMT器件
器件制作
材料生长
器件的性能
制备工艺流程
【基金项目】
:
吉林建筑大学大学生创新创业项目《不同剂量氟处理对GaN基器件横向电场分布影响研究》资助
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AlGaN/GaN HEMT器件制造主要分为AlGaN/GaN异质结材料的生长和HEMT器件制备两个主要部分,材料生长的好坏和器件制作工艺都将对器件的性能产生深远影响,本文主要对AlGaN/GaN材料的生长和HEMT器件制备的工艺流程进行介绍。
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