Effects of N_2/O_2 flow rate on the surface properties and biocompatibility of nano-structured TiO_x

来源 :Chinese Physics B | 被引量 : 0次 | 上传用户:liangwang112
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Ni Ti shape memory alloys(SMA) have many biomedical applications due to their excellent mechanical and biocompatible properties. However, nickel in the alloy may cause allergic and toxic reactions, which limit some applications. In this work, titanium oxynitride films were deposited on Ni Ti samples by high vacuum magnetron sputtering for various nitrogen and oxygen gas flow rates. The x-ray diffraction(XRD) and x-ray photoelectron spectroscopy(XPS) results reveal the presence of different phases in the titanium oxynitride thin films. Energy dispersive spectroscopy(EDS) elemental mapping of samples after immersion in simulated body fluids(SBF) shows that Ni is depleted from the surface and cell cultures corroborate the enhanced biocompatibility in vitro. However, nickel in the alloy may cause allergic and toxic reactions, which limit some applications. In this work, titanium oxynitride films were deposited on Ni Ti samples by high vacuum magnetron sputtering for various nitrogen and oxygen gas flow rates. The x-ray diffraction (XRD) and x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) results reveal the presence of different phases in the titanium oxynitride thin films. Energy dispersive spectroscopy (EDS) elemental mapping of samples after immersion in simulated body fluids (SBF) shows that Ni is depleted from the surface and cell cultures corroborate the enhanced biocompatibility in vitro.
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