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用正交试验法研究铝等离子干蚀中几种重要因素对铝刻蚀速率及铝与胶的刻蚀选择比的影响，确定这几种因素对刻蚀影响的大小，并找出较估的刻蚀条件。
用正交试验法研究铝等离子干蚀
【摘 要】
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用正交试验法研究铝等离子干蚀中几种重要因素对铝刻蚀速率及铝与胶的刻蚀选择比的影响，确定这几种因素对刻蚀影响的大小，并找出较估的刻蚀条件。
【机 构】
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中国兵器工业第214研究所
【出 处】
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集成电路通讯
【发表日期】
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2000年3期
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