影响接触显微成像分辨率的若干因素分析

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分析了影响软X射线接触显微成像分辨率的若干因素,如:记录过程中的辐射损伤,后续放大设备读出引进的误差,以及菲涅尔衍射效应等,并且提出改善分辨率的一些实用方法.
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