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采用磁控溅射法,在刀具材料为W18Cr4V高速钢的后刀面上镀制了NiCr/NiSi薄膜热电偶。传感器既能满足切削要求,同时又能够快速采集温度信号,并对其进行了静态和动态标定,实验范围内线性误差为0.56%,时间常数为12.7 ms,响应迅速,满足实验要求。最后用ANSYS对传感器的瞬态响应和温度场分布进行了有限元仿真,并通过实验进行了验证。