TiAlN/Ti多元复合涂层的截面透射电镜研究

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成功制备了多弧离子镀TiAlN/Ti多元复合涂层的截面透射试样,并分别用TEM和EDS等手段研究了涂层的组织结构和界面结构.结果表明,多晶(Ti,Al)N相是TiAlN的主要组成相,过渡Ti层呈现多晶α-Ti结构.研究发现,在TiAlN-Ti过渡层界面、Ti过渡层-HSS基体界面分别存在一个薄的中间层,通过衍射和EDS分析认为前者是Ti 2AlN相,而后者则是FeTi界面相,用XTEM还观察到FeTi相与基体M'之间的位相关系.
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