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对改良西门子法生产多晶硅的原则流程、理论基础,工艺流程的优缺点进行了阐述和分析;剖析了目前工业生产中的技术现状。
改良西门子法制备工艺及其生产技术现状
【摘 要】
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对改良西门子法生产多晶硅的原则流程、理论基础,工艺流程的优缺点进行了阐述和分析;剖析了目前工业生产中的技术现状。
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
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云南冶金
【发表日期】
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2011年1期
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