Sensorless control for hysteresis compensation of AFM scanner by modified Rayleigh model

来源 :Journal of Central South University of Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户:sdcwsjy
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一个新奇修改瑞利模型为补偿一台原子力量显微镜(AFM ) 的磁滞现象问题被开发扫描仪。在高驾驶地,压电的致动器综合一台扫描仪有严重磁滞现象,它能引起严肃的排水量错误。压电的磁滞现象从包括接口的缺点,谷物边界效果,和排水量的运动的各种各样的起源。而且,因为它的特征是随机的,预言压电的磁滞现象经分解是几乎不可能的。因此,它现象学地被预言,它意味着在输入和产量之间的关系被提出。典型现象学的途径是瑞利模型。然而,当这些地增加,模型与实验结果有差异。为了克服修改瑞利瑞利模型的缺点,模型被建议。在修改瑞利模型,每个系
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