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提出了基于工艺模拟的断裂失效概率计算方法,充分考虑了非理想形貌对失效概率的影响,使得预测结果更加准确.并利用APDL语言对ANSYS进行二次封装,采用VC＋＋开发了可靠度计算程序,使得整个计算过程简便、高效.
一种基于工艺模拟的MEMS断裂可靠度预测方法
【摘 要】
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提出了基于工艺模拟的断裂失效概率计算方法,充分考虑了非理想形貌对失效概率的影响,使得预测结果更加准确.并利用APDL语言对ANSYS进行二次封装,采用VC＋＋开发了可靠度计算程序,
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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2009年5期
【基金项目】
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国家“八六三”计划项目（2007AA04Z320）
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