【摘 要】
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设计了一种45°直头外圆车刀薄膜测力传感器，该传感器是由45钢基片、Al2O3薄膜及镍铬薄膜（Ni80%Cr20）电阻栅溅射沉积形成，然后通过低温低压扩散焊接技术焊接在车刀刀杆的设定
【基金项目】
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山西省回国留学人员科研资助项目（2013-086）,中北大学校基金资助项目（20110203）
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设计了一种45°直头外圆车刀薄膜测力传感器，该传感器是由45钢基片、Al2O3薄膜及镍铬薄膜（Ni80%Cr20）电阻栅溅射沉积形成，然后通过低温低压扩散焊接技术焊接在车刀刀杆的设定位置，镍铬薄膜电阻栅与导线连接组成惠斯通电桥可获得较好的输出电压。对电桥输出电压与梁的受力变形关系及传感器受到各向分力关系进行了分析。分析结果表明：只需在45°直头外圆车刀刀杆的4个侧面安装传感器即可实现三向力的测量，该方法大大减小了传感器的尺寸，简单可行，并且精确度高，减少研究成本、缩短开发周期。
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