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利用一种新型的顺序洗涤结合后续热处理的方法制备出了盐酸体系超低氯含量铟锡氧化物球形粉体。XRD分析表明ITO前驱体为立方结构In（OH）3以及部分晶化的Sn3[O2（OH）2]2，而ITO粉末为立方结构ITO固溶体。TGA-DTA分析表明立方结构In（OH），向立方结构ITO固溶体的相变起始于150℃后终止于300℃左右，且为一种吸热行为。SEM分析表明ITO粉末总体上为1～10μm的团聚体，且这些团聚体都是由粒径为20-60nm的一次纳米粒子组成。In（OH）3在水中为酸性水解模式，且顺序洗涤方式以及I