HCD离子镀超硬TiC涂层工艺参数的研究

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本文研究了空心阴极离子镀(HCD)TiC超硬薄膜的工艺参数、微观结构及性能:通过正交试验和单因素试验,X射线衍射分析(XRD)和电子探针分析(EPMA),TEM和SEM观察,确定了Cr12MoV模具钢离子镀FiC涂层的最佳工艺参数,系统分析了TiC涂层的硬度、耐磨性与工艺参数的关系。 In this paper, the process parameters, microstructure and properties of HCD TiC ultra-hard film were studied by means of orthogonal and single factor experiments, XRD and EPMA, TEM and SEM observation to determine the optimum process parameters of ion-plating FiC coating on Cr12MoV mold steel. The relationship between hardness, wear resistance and process parameters of TiC coating was systematically analyzed.
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