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基于自旋阀的GMR线性传感器的制作
基于自旋阀的GMR线性传感器的制作
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:XB_1209WTL
【摘 要】
:
利用退火技术制作出自旋阀型GMR线性传感器,传感器矫顽力低于0.01Oe,具有良好的线性,电阻条的宽度与传感器器线性范围和灵敏度直接相关,随着条宽减小,传感器器的线性范围增加而灵敏
【作 者】
:
李伟
刘华瑞
刘鹏
任天令
刘理天
【机 构】
:
清华大学微电子学研究所
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
2006年05B期
【关键词】
:
自旋阀
巨磁电阻
线性传感器
spin valve
giant magnetorsistance
linear sensor
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利用退火技术制作出自旋阀型GMR线性传感器,传感器矫顽力低于0.01Oe,具有良好的线性,电阻条的宽度与传感器器线性范围和灵敏度直接相关,随着条宽减小,传感器器的线性范围增加而灵敏度降低,实验和理论计算的结果一致.
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