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采用二次阳极氧化铝的方法制备出厚度仅为509nm超薄多孔阳极氧化铝模版，氧化铝模版上孔洞大小均匀，呈完美的六角分布，孔径为35nm左右，孔间距约为100nm。成功地将多孔阳极氧化铝模版转移到硅衬底上，并在磷酸溶液中通孔，使薄膜上小孔双向贯通。可以十分方便的利用该模版合成纳米点、纳米柱等纳米结构。