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基于厚度达到毫米量级的双面金属包覆波导，采用波长为1550nm的近红外激光入射到该波导金属耦合层上，激发波导中的超高阶导模后，通过定点观测反射光强度的振荡变化，研究近红外激光在硅片产生的热效应．研究表明，耦合进波导的近红外激光被吸收，热效应导致硅片的折射率改变，激光热效应作用随激光功率增大而增强，并且激光热效应在50％工作点时作用最明显．