【摘 要】
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采用氧气等离子体（OP）处理对氧化铟锡（ITO）薄膜进行表面改性,通过原子力显微镜（AFM）、X射线光电子能谱（XPS）和四探针等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了OP处理对ITO表面性质的影响
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采用氧气等离子体（OP）处理对氧化铟锡（ITO）薄膜进行表面改性,通过原子力显微镜（AFM）、X射线光电子能谱（XPS）和四探针等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了OP处理对ITO表面性质的影响。实验结果表明OP处理有效去除了ITO表面的污染物,优化了ITO表面的化学组分,降低了ITO表面的粗糙度和方块电阻,改善了ITO的表面形态。与此同时,通过XPS监测研究了OP处理后ITO表面化学组分随老化时间的变化,结果显示经过优化的化学组分随老化时间增加而逐渐退化。另外,以OP处理后经过不同老化时间的ITO样品作
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