Al2O3涂层的真空吸附研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kuaileyt
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合肥光源的脉冲切割磁铁表面用等离子体喷涂了一层A12O3,发现这种涂层表面出气率较小,这种特性对于维持注入段的系统真空度,提高束流寿命很有好处.本文的工作是制备了涂层样品,进行了真空环境下的吸附实验,同时使用了SEM、XRD、ASAP、XPS等测试手段分析涂层的微观特性与吸附成因.结果表明涂层具有多孔表面特性,晶相结构、比表面积和孔径分布都发生了变化,得到了250℃烤24h处理后在室温条件下涂层吸附能力的定量结果,对气体分子的吸附形态做了初步探讨.
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