【摘 要】
：
为了使曝光波长为193 nm的深紫外光刻系统能够制备曝光线宽为90 nm及以下节点的集成电路芯片,设计了采用环形照明模式且部分相干因子σ连续可调,能满足不同曝光线宽要求的光
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院
论文部分内容阅读
为了使曝光波长为193 nm的深紫外光刻系统能够制备曝光线宽为90 nm及以下节点的集成电路芯片,设计了采用环形照明模式且部分相干因子σ连续可调,能满足不同曝光线宽要求的光刻照明系统光束整形单元。首先,用几何光学定律和三角函数推导了轴锥镜移动距离与光束放大倍率之间的函数关系;根据对变倍凸轮的合理性和装调公差灵敏度的分析,确定了轴锥镜组参数的变化范围,完成了变倍镜组与轴锥镜组合的光束整形单元的设计。最后,在组合系统后面加入了可连续变倍的缩束系统,实现了σ的连续可调。设计结果显示,在环形照明模式下,归一化的环宽Δσ和外环直径σouter分别在[0.25,1]和[0.4,1]内连续可调,满足设计要求。
其他文献
考虑温度适应性是大口径反射镜组件设计过程中的重要因素,本文研究了温度影响空间相机大口径反射镜组件的机理,讨论了进行温度适应性分析与试验的必要性。结合其设计流程,总
随着伪装笔迹鉴定需求的增大及错误的增多,其科学性也备受争议,而本文作者一直坚信伪装笔迹的鉴定是建立在一定的科学基础之上的,解决此问题是解决其他技术问题的先决条件。
互联网思维作为一个新兴词汇,也广为各界人士所解读。就法学这一领域来讲,随着用工模式的转变,我们当前的劳动合同是否用能从互联网思维这一角度来得到启发呢?本文将由此展开
调查管线探测内外业一体化作业研究现状,分析传统地下管线探测流程存在的问题,提出外业探测、测量,内业成图、建库、更新一体化的作业流程。并在清华山维公司EPS2008平台上,
根据发射望远镜的结构特点,设计了口径为270mm的梅逊反射无焦卡塞格林式发射望远镜并对其进行了装调与检测以满足激光发射及激光准直性的要求。基于光学原理确定了同轴反射式
新课标强调塑造健全人格，发展人文素养和艺术能力．音乐欣赏与音乐表演是小学音乐课程岛重要组成部分．通过创设情境，引导学生听、说、唱音乐。运用多渠道的教学方法，把音乐表演与音
探讨地面三维激光扫描技术在城市测绘中辐射的业务领域,以服务于"三旧改造"中的建筑立面改造为例,提出一种基于地面三维激光扫描技术的城市大范围街道建筑立面测绘技术方案,
针对空间相机在使用时受空间环境中重力、温度及压力等因素的影响,引起各光学镜面位置相对变化,从而导致像平面与焦平面不重合的问题,在分析空间相机的3种调焦方式及调焦机构
<正>语言是人与人之间交流的媒介,也是个体表达自我的一种重要途径。当今社会,语言表达能力对一个人而言是至关重要的,它不仅可以影响一个人的日常交际,而且在一定程度上可以
建国以来长期实行的高度集中的社会治理方式实现了社会稳定,但也存在许多弊端。进入新世纪以来,党和政府结合实际,在探索新型社会治理方式上取得一定成效,但我国在社会治理方