【摘 要】
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金属表面颗粒污染物是影响高功率激光系统运行环境的因素之一。为了量化高功率激光系统金属结构框架在清洗后、安装时以及工作后表面的洁净度和颗粒分布状况,需要有效地采样
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
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金属表面颗粒污染物是影响高功率激光系统运行环境的因素之一。为了量化高功率激光系统金属结构框架在清洗后、安装时以及工作后表面的洁净度和颗粒分布状况,需要有效地采样、测试方法及采样装置。首先介绍了粘结法和负压法及其采样装置,然后开展了相关试验研究。实验表明,粘结法、负压吸取法均可以采集到小至1μm的颗粒物,且方法操作简便,实用性强,可以满足工程的实际需要。
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