【摘 要】
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斯坦福大学的科学家G.Solomen与美国CBLTechnologies及德国柏林的PaulDrude固体电子学研究所合作,将有机金属化学汽相淀积(MOCVD)和氢化物汽相外延(HVPE)两种方法相结合,在单
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斯坦福大学的科学家G.Solomen与美国CBLTechnologies及德国柏林的PaulDrude固体电子学研究所合作,将有机金属化学汽相淀积(MOCVD)和氢化物汽相外延(HVPE)两种方法相结合,在单一外延室中制备出蓝宝石上GaN外延片。这个研究小组称,这种工艺方法提供了一种制备GaN基外延层和GaN基?
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