【摘 要】
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介绍了一种梳状型一维位敏检测器（ＰＳＤ）的结构，对其工作原理进行了分析，比较测试了这种梳状结构（１ｍｍ×１２ｍｍ）ＰＳＤ与普通块状型结构（１ｍｍ×３ｍｍ）ＰＳＤ的线性度，实验表明：梳状结构的ＰＳＤ具有极高的线性度（均方根非线
【机 构】
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浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心
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介绍了一种梳状型一维位敏检测器（ＰＳＤ）的结构，对其工作原理进行了分析，比较测试了这种梳状结构（１ｍｍ×１２ｍｍ）ＰＳＤ与普通块状型结构（１ｍｍ×３ｍｍ）ＰＳＤ的线性度，实验表明：梳状结构的ＰＳＤ具有极高的线性度（均方根非线性为０．１７％Ｆ．Ｓ）和较小的边缘失真，对影响一维ＰＳＤ线性度的因素进行了分析，并对结果进行了讨论。
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