梳状型高线性度一维位敏检测器

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yu19910108
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介绍了一种梳状型一维位敏检测器(PSD)的结构,对其工作原理进行了分析,比较测试了这种梳状结构(1mm×12mm)PSD与普通块状型结构(1mm×3mm)PSD的线性度,实验表明:梳状结构的PSD具有极高的线性度(均方根非线性为0.17%F.S)和较小的边缘失真,对影响一维PSD线性度的因素进行了分析,并对结果进行了讨论。
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