倾斜溅射具有面内各向异性的TbFe巨磁致伸缩薄膜

来源 :金属功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qq853001313

【摘要】

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由于TbFe薄膜在微机由系统（MEMS）中的广泛应用，如表面声波器件，微电机，微型泵及延迟线等，受到了人们极大的兴趣。由于TbFe膜有很大的磁各向异性，所以只有加很大的外磁场时，一般达几千

【出处】

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金属功能材料

【发表日期】

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2005年6期

【关键词】

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磁致伸缩薄膜磁各向异性溅射面内表面声波器件驱动装置微型设备软磁性能微型泵外磁场

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由于TbFe薄膜在微机由系统（MEMS）中的广泛应用，如表面声波器件，微电机，微型泵及延迟线等，受到了人们极大的兴趣。由于TbFe膜有很大的磁各向异性，所以只有加很大的外磁场时，一般达几千奥斯特（Oe）才能有明显的移动，但是一般微型驱动装置只要求几个奥期特，因此限制了TbFe膜在微型设备中的使用。为了解决这一问题进行了很多研究，如在TbFe中添加B，这样外磁场在8kA／m下就出现108×10^-6（ppm）的移动。多层膜可减小磁品各向异性，提高软磁性能，从而改善了膜的低场磁各向异性。H．C．Ji

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