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近年来,微电子机械系统这种新兴的技术迅速发展,已经逐渐影响到人们生活的各个领域。该技术以硅为加工材料,其制品具有集成化、微型化等特点。它的这些特点受到各个领域的青睐,目前许多工业领域期望通过微电子机械系统技术改进技术条件,解决工厂存在的问题。因此,本文将从微电子机械系统的概念,加工过程所采用的技术,及具体应用等方面对其进行探讨。