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超导材料在激光成膜过程中的颗粒成因
超导材料在激光成膜过程中的颗粒成因
来源 :江西师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:colinwangaaaa
【摘 要】
:
本文计算了激光融蚀超导材料靶时靶内部的温度分布和汽-固界面的移动速度.研究表明,界面内的过热点是超导材料在激光成膜过程中产生微爆炸形成颗粒的原因,讨论了提高成膜质量
【作 者】
:
刘三秋
李佛铨
刘洪祥
刘正东
【机 构】
:
江西师大物理系,江西省教委,江西师大物理系南昌330027,南昌330027
【出 处】
:
江西师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1994年1期
【关键词】
:
激光
超导材料
成膜过程
颗粒
laser
ablation
superconduct
thin film
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本文计算了激光融蚀超导材料靶时靶内部的温度分布和汽-固界面的移动速度.研究表明,界面内的过热点是超导材料在激光成膜过程中产生微爆炸形成颗粒的原因,讨论了提高成膜质量的方法.
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