论文部分内容阅读
介绍了多晶硅清洗设备，即：硅块、硅棒／硅芯清洗设备。并对其结构设计进行阐述。对设备关键部件-工艺槽、机械臂的设计进行了详细的说明。该设备满足了大规模生产的需要，能够保证产品的品质及生产效率。
多晶硅清洗设备研究
【摘 要】
：
介绍了多晶硅清洗设备，即：硅块、硅棒／硅芯清洗设备。并对其结构设计进行阐述。对设备关键部件-工艺槽、机械臂的设计进行了详细的说明。该设备满足了大规模生产的需要，能够保证
【机 构】
：
北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2009年5期
其他文献
在隧洞开挖过程中,人工排水常造成一定区域的地下水位下降,影响人畜饮水和灌溉。通过黔中水利枢纽一期工程大窑区域岩溶、水文地质条件调查,分析了玻利隧洞开挖对区域内泉点岩溶系统的影响,提出了相应的工程防治建议,为类似工程实施提供参考。
以集成电路后道封装工序中的关键设备全自动砂轮划片机为例,详细阐述了面向IC封装的视觉识别定位系统的硬件结构和软件设计,在全自动砂轮划片机上开发了一套基于OpenCV视觉函数库的图像处理算法,控制划切工作台运动实现对IC工件划切街区的精确定位。在模板匹配方式上,该算法采用比较流行的边缘几何特征匹配方式,并在砂轮划片机的现场测试中取得了较为理想的效果。
在总结前人研究的基础上，综述了温排水及低温水对水环境影响的研究进展。其中包括温排水数值模拟的研究，对水生生物及水体富营养化进程影响的研究进展情况。分析认为地表水源热
【正】全球领先的半导体、平板显示和太阳能光伏行业精密材料工程解决方案供应商应用材料公司于日前公布了截止于2014年10月26日的2014财年第四季度及全年财务报告。2014财年
目的探讨ELISA和PCR联合检测对乙型肝炎诊断的临床价值.方法对742例患者同时检测HBV-M五项乙肝标志物和HBV-DNA.结果 HBsAg(+)HBeAg(+)抗-HBc(+)时,HBV-DNA阳性率最高,达95.8
目的观察人工流产临床效果.方法随机选择2002年7月～2003年9月我院静脉注射异丙酚实施无痛人工流产216例,同时选择同期无镇痛措施人工流产216例作为对照.就人流术中疼痛、人流
针对半导体设备自动化水平的不断提高,设计一种多线程多等级划分的异常处理机制,并根据设备自身特性,灵活采用软硬件结合或软件异常处理方式去处理设备的异常。
目的分析三维骨折外固定架治疗胫腓骨临床疗效.方法收治的71例患者,男60例,女11例.平均年龄44.3岁,切开复位65例,闭合复位6例.均在硬膜外麻醉或蛛网膜下腔麻醉下,采用三维骨
目的了解基层医疗机构的消毒灭菌质量。方法对49家区级医疗机构的现状和消毒灭菌质量监测结果进行调查分析，按卫生部《消毒技术规范》的要求进行采样和检测。结果共监测区属医