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准直检测的改进—半孔径双向剪切干涉法
准直检测的改进—半孔径双向剪切干涉法
来源 :光电子·激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mtv138
【摘 要】
:
文中论述了半孔径双向剪切干涉仪的结构及进行准直检测的原理,给出了干涉条纹表达达式,讨论了该法的检测灵敏度。将检测结果与Talbot干涉法的结果做了分析比较。
【作 者】
:
杨志文
金锡哲
【机 构】
:
长春光学精密机械学院
【出 处】
:
光电子·激光
【发表日期】
:
1996年4期
【关键词】
:
准直检测
干涉仪
激光
光检测技术
shearing interferometry collimation testing sensitivity
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文中论述了半孔径双向剪切干涉仪的结构及进行准直检测的原理,给出了干涉条纹表达达式,讨论了该法的检测灵敏度。将检测结果与Talbot干涉法的结果做了分析比较。
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