MEMS技术的现状与应用

来源 :合肥学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：dengwj

【摘要】

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微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术,它把信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到新的高度.近年来,对MEMS的技术发展、加工工艺及其产业化的研究已被越来

【作者】

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郭伟光

【机构】

：

合肥学院管理系

【出处】

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合肥学院学报(自然科学版)

【发表日期】

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2005年1期

【关键词】

：

微机电系统磁微执行器 MEMS 加工工艺工作原理 MEMSdevelopment magnetic micr-actuatorresearch

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微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术,它把信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到新的高度.近年来,对MEMS的技术发展、加工工艺及其产业化的研究已被越来越多的人所重视.介绍了MEMS的特点、特征、技术发展趋势,MEMS器件的类型及其功能,并以多层弯曲磁芯结构微执行器为例介绍了磁驱动微执行器工作原理与制作工艺过程.

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