【摘 要】
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二、光学镀膜工艺光器件制造过程中,常常要镀制各种光学薄膜,如增透膜(减反射膜)、反射膜(金属反射膜、多层介质膜)、析光膜、分光膜、干涉滤光膜等等。因此,光学薄膜的镀制
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二、光学镀膜工艺光器件制造过程中,常常要镀制各种光学薄膜,如增透膜(减反射膜)、反射膜(金属反射膜、多层介质膜)、析光膜、分光膜、干涉滤光膜等等。因此,光学薄膜的镀制是光器件制造的重要工艺之一。
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