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为了揭示低温退火温度对硅晶圆内V-O2对介观演变的影响,基于所建相场模型及其应用程序,对2个不同温度下退火的硅晶圆中V-O2对演变过程进行了仿真.结果表明:当低温退火温度降低时,V-O2对变化速率减慢、数量减少,这与相应的空位相对浓度演变及其均匀化过程有关.
低温退火温度对硅晶圆内V-O_(2)对介观演变影响的仿真
【摘 要】
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为了揭示低温退火温度对硅晶圆内V-O2对介观演变的影响,基于所建相场模型及其应用程序,对2个不同温度下退火的硅晶圆中V-O2对演变过程进行了仿真.结果表明:当低温退火温度降
【机 构】
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山东大学材料科学与工程学院,OutpiePartnersB.V.高科技园区
【出 处】
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徐州工程学院学报:自然科学版
【发表日期】
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2021年1期
【基金项目】
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山东大学晶体材料国家重点实验室开放课题(KF1303)
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