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期刊论文
带旋转的三面互检法
带旋转的三面互检法
来源 :计测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunning1002
【摘 要】
:
按传统三面互检法评价平面度偏差,结果只能由评价平晶在两条相互垂直的直径线上的测量数值得到,其评价方法与平晶的真实面形偏差存在差异。本文介绍的基于光电探测技术、激光干
【作 者】
:
赵静
张月平
【机 构】
:
中国一航北京长城计量测试技术研究所
【出 处】
:
计测技术
【发表日期】
:
2007年4期
【关键词】
:
平面度
三面互检法
偏差
flat
mutual calibration method for three optic flats
deviation
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按传统三面互检法评价平面度偏差,结果只能由评价平晶在两条相互垂直的直径线上的测量数值得到,其评价方法与平晶的真实面形偏差存在差异。本文介绍的基于光电探测技术、激光干涉技术、图像处理技术的带旋转三面互检法可以解出平面上N条直径线上的点的面形偏差,可以提高测量准确度。
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