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在处理容器的内部，设有装载台，用来装载半导体晶片(W)。微波发生器产生微波，通过平面天线部件导入到处理容器内。平面天线部件具有沿若干圆周排列的若干贯通孔，
微波等离子体处理装置、等离子体处理方法以及微波发射部件
【摘 要】
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在处理容器的内部，设有装载台，用来装载半导体晶片(W)。微波发生器产生微波，通过平面天线部件导入到处理容器内。平面天线部件具有沿若干圆周排列的若干贯通孔，
【机 构】
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日本东京毅力科创株式会社
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2005年2期
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