【摘 要】
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为研究自旋阀传感器单元自由层易轴取向对其线性度的影响,通过改变诱导磁场取向,制备了自由层易轴沿传感单元电阻条长轴与短轴的两组样品。基于传感单元巨磁电阻效应的测试,
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为研究自旋阀传感器单元自由层易轴取向对其线性度的影响,通过改变诱导磁场取向,制备了自由层易轴沿传感单元电阻条长轴与短轴的两组样品。基于传感单元巨磁电阻效应的测试,发现自由层易轴沿传感单元电阻条短轴的样品,其性能稳定,矫顽力和线性范围基本不受电阻条宽度的影响;而对于自由层易轴沿传感器电阻条长轴的样品,随电阻条宽度的减小,传感器单元的线性范围增大,矫顽力降低。基于能量最小原理,发现自由层形状各向异性能是决定传感单元的线性度的关键参数,通过对其调制,可有效控制巨磁电阻传感器的线性度。
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