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用动态原位电镜观察方法了直流溅射Ｆｅ８２Ｓｉ６Ｂ１２非晶合金膜的晶化动力学过程，结果表明：溅射Ｆｅ８２ＳｉＢ１２非晶合金膜的晶化类型为初晶晶化。初晶产物为α（Ｆｅ，Ｓｉ），长大以枝晶方式进行，长大方向沿＜１１０＞晶向。α（Ｆｅ，Ｓｉ）初晶形核采取瞬态均匀形枝，晶核初始的形状为圆形的多角形。并很快发展成枝晶，α（Ｆｅ，Ｓｉ）枝晶的长大是由Ｂ原子在非晶合金中的长程扩散控制的。根据长大过程的动力学分析，