金属型场发射阵列的研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zyweric

【摘要】

：

讨论了Ｓｐｉｎｄｔ方法制作金属型ＦＥＡ工艺过程中的技术难点和相应的解决方案，最后成功地研制出场发射阵列，并实现了场发射。 The technical difficulties and corresponding solutions in th

【作者】

：

李德杰王邦江姚保纶

【机构】

：

清华大学电子工程系

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

1999年01期

【关键词】

：

场发射金属型显示设备显示终端信息显示测试样品工艺过程阳极电压干法刻蚀全彩色

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讨论了Ｓｐｉｎｄｔ方法制作金属型ＦＥＡ工艺过程中的技术难点和相应的解决方案，最后成功地研制出场发射阵列，并实现了场发射。 The technical difficulties and corresponding solutions in the fabrication of metallic FEA by Spindt method are discussed. Finally, the field emission array is successfully developed and the field emission is realized.

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