Self-assembly of Blended PS-b-P2VP Block Copolymers

来源 :微电子制造学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sway6543058

【摘要】

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Directed Self-Assembly(DSA)of block copolymers(BCPs)is a promising technique for sub-10 nm nanofabrication,which is highly compatible with conventional lithogra

【作者】

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Baolin Zhang Yu Chen Shisheng

【机构】

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SchoolofInformationScienceandTechnology

【出处】

：

微电子制造学报

【发表日期】

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2019年4期

【关键词】

：

Micro-phase BLENDING LAMELLAR pattern solvent annealing SEQUENTIAL INFILTRATION

【基金项目】

：

This work was supported by the Awards No.SXH1232030,IDH1232054 and KBH1232189 from the Shanghai Municipal Science and Technology Commission,This work is partially supported by the National Natural Sci

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Directed Self-Assembly(DSA)of block copolymers(BCPs)is a promising technique for sub-10 nm nanofabrication,which is highly compatible with conventional lithography.DSA relies on the microphase separation of block copolymers to form nanostructures of diffe

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