【摘 要】
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绝大部分磁泡存储器都是在钆镓石榴石(GGG)衬底上制备的。这些衬底不仅是载体而且是磁性存储层外延生长的晶核。衬底结构中的任何一个缺陷都会在外延层中重现,因此衬底必须
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绝大部分磁泡存储器都是在钆镓石榴石(GGG)衬底上制备的。这些衬底不仅是载体而且是磁性存储层外延生长的晶核。衬底结构中的任何一个缺陷都会在外延层中重现,因此衬底必须非常均匀。仅仅由于这个原因,就应该在系统的研究工作中改善GGG衬底的制备方法,使这些晶体成为目前工业生产所提供的最完善的材料,并且在衬底圆片的品格缺陷和表面质量方面无可指责。
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