用于制备磁泡存储器的优质钆镓石榴石衬底

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绝大部分磁泡存储器都是在钆镓石榴石(GGG)衬底上制备的。这些衬底不仅是载体而且是磁性存储层外延生长的晶核。衬底结构中的任何一个缺陷都会在外延层中重现,因此衬底必须非常均匀。仅仅由于这个原因,就应该在系统的研究工作中改善GGG衬底的制备方法,使这些晶体成为目前工业生产所提供的最完善的材料,并且在衬底圆片的品格缺陷和表面质量方面无可指责。 Most bubble reservoirs are made on gadolinium gallium garnet (GGG) substrates. These substrates are not only carriers but also nuclei for the epitaxial growth of magnetic storage layers. Any defect in the substrate structure will reproduce in the epitaxial layer, so the substrate must be very uniform. For this reason alone, the preparation of GGG substrates should be improved in systematic research to make these crystals the most complete materials currently available for industrial production, and in the absence of defects and surface quality of the substrate wafer Can blame.
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