新型密封式精密钢带光栅线位移传感器的研制

来源 :机械与电子 | 被引量 : 8次 | 上传用户：rudy_luo

【摘要】

：

研制了一种新型的密封式超长精密钢带光栅线位移传感器.该传感器采用了反射式精密超长计量钢带光栅尺作为测量基准尺,实现了大量程,并且依据激光光电扫描器拾取光栅莫尔条纹光电信号,提高了光栅付工作间隙量和测量的精度.实验的结果表明:传感器量程为3m,10m,50m时,其测量精度可以达到±5μm/m,±10μm/m,±20μm/m.

【作者】

：

钟健许兴智史淑华张一钢李岩

【机构】

：

深圳职业技术学院机电工程学院,北京莱格超精光电研究所

【出处】

：

机械与电子

【发表日期】

：

2008年10期

【关键词】

：

钢带光栅大量程激光光电扫描器传感器 steel belt grating wide - range laser photoelectric scann

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