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研磨过程中产生的亚表面损伤层深度是影响单晶蓝宝石抛光质量的关键因素。本文开展了游离磨料和固结磨料两种研磨方式研磨单晶蓝宝石的实验研究，采用三维形貌仪观察了加工前后的工件表面质量，运用差动腐蚀法比较了研磨方式对研磨后工件亚表面损伤层深度的影响。结果表明，金刚石磨料粒径分别为W50和W14的游离磨料研磨加工蓝宝石晶片的亚表面损伤层深度分别为48．85μm和7．02μm，而相同粒径固结磨料加工的亚表面损伤层深度分别为5．47μm和3．25μm。固结磨料研磨后的工件表面粗糙度也优于相同粒径的游离磨料加工的工件。固