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叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热随极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。
冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用
【摘 要】
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叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热随极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。
【机 构】
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云南光学仪器厂
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1997年5期
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