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采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)研究了N2,O2对金刚石晶形显露的影响发现微量的氮气的加入(N2)/(CH4)〈1%有利于金刚石(100)晶面的显露,且不会降低金刚石晶形的完整性;微量氧的加入有利于金刚石(111)面显露,采用氧辅助控制金石膜(111)织构生长,可以使X射线(111)峰遥摆曲线的半宽降到6.2°,氮或氧的加入扩大了织构生长金刚(100)或(111)膜的基片温度范围。