硬质合金上沉积金刚石膜的基体预处理方法进展

来源 :金刚石与磨料磨具工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:skdjflskdj
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本文重点对近年硬质合金基体表面预处理方法及其对CVD金刚石膜沉积的影响进行了综述。按其原理来分,预处理方法可分为物理预处理法、化学预处理法以及中间层法。大量实验结果表明通过适当的预处理能有效消除或抑制基体中钴黏结相的负面影响,提高金刚石的形核密度以及膜基结合力,从而获得理想的薄膜质量。
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